掃描狹縫光斑分析儀是一種用于準(zhǔn)確測量激光光束質(zhì)量的高精度儀器，特別適用于微米級小光斑和高功率激光的檢測。它通過狹縫或刀口掃描激光光斑的橫截面，逐點采集光強分布，進(jìn)而重構(gòu)光斑的形狀、尺寸、能量分布、發(fā)散角及M²因子等關(guān)鍵參數(shù)。
工作原理
激光掃描：通過高精度掃描系統(tǒng)驅(qū)動激光束或待測光斑移動，形成一系列掃描線。
光斑探測：利用狹縫結(jié)構(gòu)對掃描線上的光斑進(jìn)行逐點取樣，探測器(如硅探測器、鍺探測器或熱釋電探測器)實時記錄光強分布。
數(shù)據(jù)處理：將探測器輸出的電信號解析為光斑參數(shù)，包括尺寸、形狀、能量分布、發(fā)散角及M²因子等。
主要特點與優(yōu)勢：
高分辨率與微小光斑測量能力
掃描狹縫式光斑分析儀可測量*小達(dá)2.5μm甚至更小的光束直徑，分辨率可達(dá)0.1μm，在微納光學(xué)、半導(dǎo)體光刻等對精度要求高的領(lǐng)域具有明顯優(yōu)勢。相比之下，相機式分析儀受限于像素尺寸，難以準(zhǔn)確捕捉小于幾十微米的光斑細(xì)節(jié)。
高功率激光測試能力強
由于每次僅允許狹縫處的光通過并被探測器采集，避免了一次性接收全部光功率導(dǎo)致的飽和問題，因此可在不加衰減片的情況下直接測量高達(dá)近10W的連續(xù)或脈沖激光，簡化操作并提升測試穩(wěn)定性。
雙模式切換設(shè)計
部分型號支持狹縫模式與刀口模式自由切換，適應(yīng)不同光束直徑的測量需求：狹縫模式適合中等尺寸光斑，刀口模式則更適用于*小光斑的高精度測量。
寬波長適用范圍
不同型號覆蓋190nm至2700nm甚至更寬的波段，兼容紫外、可見光、近紅外及中紅外激光源，滿足多場景應(yīng)用需求。
